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超星期刊
- 【作者】吴世清
- 【刊名】化工生产与技术
- 【年份】2023
- 【期号】第3期
- 【页码】P47-48
- 【ISSN】1006-6829
- 【分类号】TN3
- 【摘要】
2022年1月以来实施的含硅系列标准(二)18)GB/T 40279-2021《硅片表面薄膜厚度的测试光学反射法》。规定了采用光学反射法测试硅片表面二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜厚度的方法。适用于测试硅片表面生长的二氧化硅薄膜和多晶硅薄膜的厚度,也适用于所有光滑的、透明或半透明的。
- 【文献类型】期刊
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